Leybold 萊寶 UNIVEX 多腔鍍膜機(jī)可以根據(jù)客戶(hù)要求設(shè)計(jì)，包含獨(dú)立的工藝室、真空進(jìn)樣室和傳送室。每個(gè)真空室通常都有自己的高真空系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)單基片或多基片鍍膜。

在各個(gè)真空室之間傳送基材時(shí)，使用電機(jī)驅(qū)動(dòng)的機(jī)械手臂傳送。UNIVEX 控制軟件根據(jù)特定的應(yīng)用要求進(jìn)行定制，支持編制工藝程序。